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AZエレクトロニックマテリアルズIP株式会社

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-252083 微細パターンマスクおよびその製造方法、ならびにそれを用いた微細パターンの形成方法 2012年12月20日
特開 2012-242600 感光性シロキサン樹脂組成物 2012年12月10日
特開 2012-220836 上面反射防止膜形成用組成物およびそれを用いたパターン形成方法 2012年11月12日
特開 2012-219219 シロキサン樹脂含有塗布組成物 2012年11月12日
再表 2010-137424 薬液供給システムおよびそれに用いる薬液用容器 2012年11月12日
特開 2012-198456 リソグラフィー用リンス液およびそれを用いたパターン形成方法 2012年10月18日
特開 2012-181334 低屈折率膜形成用組成物、低屈折率膜の形成方法、及び該形成方法により形成された低屈折率膜並びに反射防止膜 2012年 9月20日
特開 2012-174717 二酸化ケイ素膜の製造方法 2012年 9月10日
特開 2012-174756 絶縁膜の形成方法 2012年 9月10日
特開 2012-137778 ケイ素含有微細パターン形成用組成物 2012年 7月19日
特開 2012-116878 スルホン化フェニル基を含むシルセスキアザンポリマーおよびそれを用いて製造したシリカ質膜 2012年 6月21日

11 件中 1-11 件を表示

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2012-252083 2012-242600 2012-220836 2012-219219 2010-137424 2012-198456 2012-181334 2012-174717 2012-174756 2012-137778 2012-116878

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