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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第5661位 3件
(2012年:第7092位 2件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第2956位 6件
(2012年:第2955位 6件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5352451 | グレートーンマスクの製造方法 | 2013年11月27日 | |
特許 5335578 | 塗布装置及び気流制御板 | 2013年11月 6日 | |
特許 5324342 | ウェットエッチング方法 | 2013年10月23日 | |
特許 5274393 | ハーフトーンマスクの製造方法 | 2013年 8月28日 | |
特許 5231956 | ハーフトーンマスク、ハーフトーンマスクブランクス、ハーフトーンマスクの製造方法、及びハーフトーンマスクブランクスの製造方法 | 2013年 7月10日 | |
特許 5215421 | 位相シフトフォトマスクブランクス及び位相シフトフォトマスク並びに半導体装置の製造方法 | 2013年 6月19日 | 共同出願 |
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5352451 5335578 5324342 5274393 5231956 5215421
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