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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第2749位 7件
(2019年:第2345位 9件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第1779位 9件
(2019年:第8774位 1件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6783551 | マスクブランクスの製造方法 | 2020年11月11日 | |
特許 6756796 | マスクブランクス、ハーフトーンマスク、製造方法 | 2020年 9月16日 | |
特許 6742184 | 位相シフタ膜の製造方法、位相シフトマスクブランクの製造方法、及び、位相シフトマスクの製造方法 | 2020年 8月19日 | |
特許 6730141 | 位相シフタ膜の製造方法、位相シフトマスクブランクの製造方法、及び、位相シフトマスクの製造方法 | 2020年 7月29日 | |
特許 6700120 | フォトマスクブランクおよびフォトマスク、製造方法 | 2020年 5月27日 | |
特許 6674809 | 位相シフトマスクブランクスの洗浄装置、位相シフトマスクブランクスの製造方法 | 2020年 4月 1日 | |
特許 6659422 | 塗布装置、マスクブランクの製造方法 | 2020年 3月 4日 | |
特許 6659855 | マスクブランクス、位相シフトマスク、ハーフトーンマスク、マスクブランクスの製造方法、及び位相シフトマスクの製造方法 | 2020年 3月 4日 | |
特許 6639253 | 電鋳用マスク原版の機能部品、電鋳用マスク原版の機能部品の製造方法 | 2020年 2月 5日 |
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6783551 6756796 6742184 6730141 6700120 6674809 6659422 6659855 6639253
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3月24日(月) -
3月25日(火) - 東京 品川区
3月25日(火) -
3月26日(水) - 東京 港区
3月26日(水) -
3月26日(水) -
3月26日(水) -
3月26日(水) -
3月24日(月) -
4月1日(火) - 山口 山口市
4月1日(火) -
4月4日(金) -
4月1日(火) - 山口 山口市
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