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アルバック成膜株式会社
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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第2992位 7件
（
2021年：第2350位 9件）
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第2222位 8件
（2021年：第2016位 8件）
（ランキング更新日：2024年9月20日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
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アルバック成膜株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7195777 | マスクブランク用材料膜の製造装置、マスクブランク用材料膜の製造方法、位相シフトマスク用ブランクスの製造方法、及び、位相シフトマスクの製造方法 | 2022年12月26日 | |
| 特許 7185545 | 仕切弁 | 2022年12月 7日 | |
| 特許 7110022 | フォトマスクおよびその製造方法 | 2022年 8月 1日 | |
| 特許 7062377 | 位相シフトマスクの製造方法および位相シフトマスク | 2022年 5月16日 | |
| 特許 7062381 | マスクブランクスおよびその製造方法、バイナリマスク | 2022年 5月16日 | |
| 特許 7062480 | マスクブランクスおよびフォトマスク、その製造方法 | 2022年 5月 6日 | |
| 特許 7048420 | スパッタリング装置 | 2022年 4月 5日 | |
| 特許 7037919 | マスクブランク、ハーフトーンマスクおよびその製造方法 | 2022年 3月17日 | |
| 特許 6998181 | マスクブランク、位相シフトマスクおよびその製造方法 | 2022年 2月 4日 | |
| 特許 6987912 | マスクブランクス、位相シフトマスク、製造方法 | 2022年 1月 5日 |
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7195777 7185545 7110022 7062377 7062381 7062480 7048420 7037919 6998181 6987912
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