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エヴァテック・アーゲー
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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第2862位 7件
（
2022年：第2184位 10件）
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第3698位 4件
（2022年：第2776位 6件）
（ランキング更新日：2026年10月16日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
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エヴァテック・アーゲーの商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7391869 | 基板真空処理装置及び方法 | 2023年12月 5日 | |
| 特許 7330182 | 真空プラズマ処理へのＲＦパワーの伝送 | 2023年 8月21日 | |
| 特許 7282769 | 基板処理装置、基板を処理する方法及び処理加工物を製造する方法 | 2023年 5月29日 | |
| 特許 7270540 | スパッタリングソース | 2023年 5月10日 |
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7391869 7330182 7282769 7270540
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