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エヴァテック・アーゲー
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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第2187位 10件
（
2021年：第3208位 6件）
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第2778位 6件
（2021年：第5804位 2件）
（ランキング更新日：2025年3月27日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
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エヴァテック・アーゲーの商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7156954 | プラズマエッチングチャンバ及びプラズマエッチング方法 | 2022年10月19日 | |
| 特許 7072572 | ＲＦ容量結合二重周波数エッチング反応器 | 2022年 5月20日 | |
| 特許 7069159 | 高周波容量結合エッチング反応器 | 2022年 5月17日 | |
| 特許 7050912 | 基板を処理するための方法及び装置 | 2022年 4月 8日 | |
| 特許 7002476 | 広帯域光学監視 | 2022年 1月20日 | |
| 特許 6991164 | 真空処理チャンバ及び真空処理された板状基板の製造方法 | 2022年 1月12日 |
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7156954 7072572 7069159 7050912 7002476 6991164
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