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(2022年:第6022位 3件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第2734位 6件
(2022年:第10281位 1件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7385947 | 使用された内部捕集タワーの自己再生機能を有する反応副産物捕集装置 | 2023年11月24日 | |
特許 7323958 | 捕集可用領域が拡張された反応副産物捕集装置 | 2023年 8月 9日 | |
特許 7295590 | ガス流れ誘導によって捕集可用領域の拡張が可能な反応副産物捕集装置 | 2023年 6月21日 | |
特許 7220262 | エッチング工程時に発生する反応副産物の捕集装置 | 2023年 2月 9日 | |
特許 7200304 | 半導体工程用反応副産物多重捕集装置 | 2023年 1月 6日 | |
特許 7200305 | 半導体工程用反応副産物多重捕集装置 | 2023年 1月 6日 |
6 件中 1-6 件を表示
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7385947 7323958 7295590 7220262 7200304 7200305
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