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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第145位 329件
(2014年:第4165位 4件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第163位 189件
(2014年:第2004位 11件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2015-162597 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2015年 9月 7日 | |
特開 2015-157993 | スパッタリング装置 | 2015年 9月 3日 | |
特開 2015-159215 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2015年 9月 3日 | |
特開 2015-159326 | 熱処理方法 | 2015年 9月 3日 | |
特開 2015-156105 | 制御方法および基板処理装置 | 2015年 8月27日 | |
特開 2015-156426 | 基板処理装置、プログラム、および、基板処理方法 | 2015年 8月27日 | |
特開 2015-156473 | 基板処理装置 | 2015年 8月27日 | |
特開 2015-150499 | 塗布装置 | 2015年 8月24日 | |
特開 2015-150516 | 両面塗工装置、両面塗工方法および塗膜形成システム | 2015年 8月24日 | |
特開 2015-152475 | 変位検出装置、基板処理装置、変位検出方法および基板処理方法 | 2015年 8月24日 | |
特開 2015-152519 | 検査装置及び検査方法 | 2015年 8月24日 | |
特開 2015-153213 | パターン描画装置用のGUI装置、パターン描画システム、ジョブチケット更新方法およびプログラム | 2015年 8月24日 | |
特開 2015-153281 | ベクトルデータ処理装置、画像記録システム、ベクトルデータ処理方法およびプログラム | 2015年 8月24日 | |
特開 2015-153653 | 電解質膜改質装置および電解質膜改質方法、並びに、膜・触媒層接合体の製造システムおよび製造方法 | 2015年 8月24日 | |
特開 2015-153947 | 基板処理装置 | 2015年 8月24日 |
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2015-162597 2015-157993 2015-159215 2015-159326 2015-156105 2015-156426 2015-156473 2015-150499 2015-150516 2015-152475 2015-152519 2015-153213 2015-153281 2015-153653 2015-153947
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