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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第81位 382件 (2021年:第108位 369件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2022-191764 | 基板処理方法、基板処理装置およびプログラム | 2022年12月28日 | |
特開 2022-191940 | 基板処理装置、および、基板処理方法 | 2022年12月28日 | |
特開 2022-189495 | 基板洗浄装置 | 2022年12月22日 | |
特開 2022-189627 | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 | 2022年12月22日 | |
特開 2022-188396 | 培養デバイスおよびその製造方法 | 2022年12月21日 | |
特開 2022-188425 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2022年12月21日 | |
特開 2022-187165 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2022年12月19日 | |
特開 2022-187213 | 熱処理方法および熱処理装置 | 2022年12月19日 | |
特開 2022-186047 | 基板処理方法および昇華乾燥用処理剤 | 2022年12月15日 | |
特開 2022-183683 | 基板処理装置 | 2022年12月13日 | |
特開 2022-183684 | 基板処理装置 | 2022年12月13日 | |
特開 2022-183685 | 基板処理装置 | 2022年12月13日 | |
特開 2022-181368 | スケジュール変更方法 | 2022年12月 8日 | |
特開 2022-180648 | ゲート絶縁膜の形成方法 | 2022年12月 6日 | |
特開 2022-178121 | 基板処理システム | 2022年12月 2日 |
383 件中 1-15 件を表示
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2022-191764 2022-191940 2022-189495 2022-189627 2022-188396 2022-188425 2022-187165 2022-187213 2022-186047 2022-183683 2022-183684 2022-183685 2022-181368 2022-180648 2022-178121
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