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株式会社SCREENホールディングス

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  2016年 出願公開件数ランキング    第117位 374件 上昇2015年:第145位 329件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第147位 240件 上昇2015年:第163位 189件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2016-115792 基板処理装置 2016年 6月23日
特開 2016-115830 熱処理方法 2016年 6月23日
特開 2016-115844 基板処理方法及びその装置 2016年 6月23日
特開 2016-115863 基板処理装置および基板処理方法 2016年 6月23日
特開 2016-115893 基板処理装置および基板処理方法 2016年 6月23日
特開 2016-107272 基板処理装置および基板処理方法 2016年 6月20日
特開 2016-111302 基板処理装置 2016年 6月20日
特開 2016-111306 サックバックバルブ、サックバックバルブシステムおよび基板処理装置 2016年 6月20日
特開 2016-105487 熱処理方法 2016年 6月 9日
特開 2016-105505 処理液供給方法 2016年 6月 9日
特開 2016-105519 基板処理方法および基板処理装置 2016年 6月 9日
特開 2016-101563 塗布方法および塗布装置 2016年 6月 2日
特開 2016-98425 スパッタリング装置 2016年 5月30日
特開 2016-95332 データ補正装置、描画装置、検査装置、データ補正方法、描画方法、検査方法およびプログラム 2016年 5月26日
特開 2016-96303 基板処理装置 2016年 5月26日

376 件中 196-210 件を表示

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2016-115792 2016-115830 2016-115844 2016-115863 2016-115893 2016-107272 2016-111302 2016-111306 2016-105487 2016-105505 2016-105519 2016-101563 2016-98425 2016-95332 2016-96303

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