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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第117位 374件
(2015年:第145位 329件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第147位 240件
(2015年:第163位 189件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2016-115792 | 基板処理装置 | 2016年 6月23日 | |
特開 2016-115830 | 熱処理方法 | 2016年 6月23日 | |
特開 2016-115844 | 基板処理方法及びその装置 | 2016年 6月23日 | |
特開 2016-115863 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2016年 6月23日 | |
特開 2016-115893 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2016年 6月23日 | |
特開 2016-107272 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2016年 6月20日 | |
特開 2016-111302 | 基板処理装置 | 2016年 6月20日 | |
特開 2016-111306 | サックバックバルブ、サックバックバルブシステムおよび基板処理装置 | 2016年 6月20日 | |
特開 2016-105487 | 熱処理方法 | 2016年 6月 9日 | |
特開 2016-105505 | 処理液供給方法 | 2016年 6月 9日 | |
特開 2016-105519 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2016年 6月 9日 | |
特開 2016-101563 | 塗布方法および塗布装置 | 2016年 6月 2日 | |
特開 2016-98425 | スパッタリング装置 | 2016年 5月30日 | |
特開 2016-95332 | データ補正装置、描画装置、検査装置、データ補正方法、描画方法、検査方法およびプログラム | 2016年 5月26日 | |
特開 2016-96303 | 基板処理装置 | 2016年 5月26日 |
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2016-115792 2016-115830 2016-115844 2016-115863 2016-115893 2016-107272 2016-111302 2016-111306 2016-105487 2016-105505 2016-105519 2016-101563 2016-98425 2016-95332 2016-96303
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6月16日(月) - 東京 大田
6月17日(火) -
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6月20日(金) -
6月20日(金) - 愛知 名古屋市
6月16日(月) - 東京 大田
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