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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第3287位 6件
(2012年:第5164位 3件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第2956位 6件
(2012年:第1978位 11件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2013-206833 | イオン注入装置及びその制御方法 | 2013年10月 7日 | |
特開 2013-196985 | イオン源装置及びイオンビーム生成方法 | 2013年 9月30日 | |
特開 2013-157373 | イオン注入方法及びイオン注入装置 | 2013年 8月15日 | |
特開 2013-127940 | イオン注入方法及びイオン注入装置 | 2013年 6月27日 | |
特開 2013-89409 | イオン注入装置及びイオン注入方法 | 2013年 5月13日 | |
特開 2013-4610 | イオン注入装置及びイオン注入方法 | 2013年 1月 7日 |
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2013-206833 2013-196985 2013-157373 2013-127940 2013-89409 2013-4610
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