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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第1160位 23件
(2014年:第1765位 13件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第2775位 5件
(2014年:第6584位 2件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2015-232947 | イオン注入装置及びイオン注入方法 | 2015年12月24日 | |
特開 2015-225707 | イオン注入装置 | 2015年12月14日 | |
特開 2015-225708 | イオン注入装置 | 2015年12月14日 | |
特開 2015-225720 | イオン発生装置および熱電子放出部 | 2015年12月14日 | |
特開 2015-210951 | イオン注入方法及びイオン注入装置 | 2015年11月24日 | |
特開 2015-207536 | イオン注入装置及びイオン注入方法 | 2015年11月19日 | |
特開 2015-191740 | イオン注入装置、最終エネルギーフィルター、及びイオン注入方法 | 2015年11月 2日 | |
特開 2015-176750 | イオン注入装置、ビームエネルギー測定装置、及びビームエネルギー測定方法 | 2015年10月 5日 | |
特開 2015-173116 | イオン注入装置及びイオン注入方法 | 2015年10月 1日 | |
特開 2015-153468 | 高エネルギーイオン注入装置、ビーム平行化器、及びビーム平行化方法 | 2015年 8月24日 | |
特開 2015-141834 | イオン注入装置及びイオン注入装置の制御方法 | 2015年 8月 3日 | |
特開 2015-125827 | 支持構造およびそれを用いたイオン発生装置 | 2015年 7月 6日 | |
特開 2015-115172 | アンテナカバー及びそれを用いたプラズマ発生装置 | 2015年 6月22日 | |
特開 2015-106518 | イオン注入装置 | 2015年 6月 8日 | |
特開 2015-103281 | 高エネルギーイオン注入装置、ビーム電流調整装置、及びビーム電流調整方法 | 2015年 6月 4日 |
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2015-232947 2015-225707 2015-225708 2015-225720 2015-210951 2015-207536 2015-191740 2015-176750 2015-173116 2015-153468 2015-141834 2015-125827 2015-115172 2015-106518 2015-103281
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