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株式会社ＳＥＮ

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　■　2015年 特許取得件数ランキング　 　　第2774位　5件 （上昇2014年：第6584位　2件）

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株式会社ＳＥＮの商標一覧
公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5826524 プラズマドーピング装置及びプラズマドーピング方法 2015年12月 2日
特許 5822767 イオン源装置及びイオンビーム生成方法 2015年11月24日
特許 5808706 イオン注入装置及びその制御方法 2015年11月10日
特許 5767983 イオン注入方法及びイオン注入装置 2015年 8月26日
特許 5718169 イオン注入装置及びイオン注入方法 2015年 5月13日
特許 5701201 イオン注入方法及びイオン注入装置 2015年 4月15日
特許 5665679 不純物導入層形成装置及び静電チャック保護方法 2015年 2月 4日

7 件中 1-7 件を表示

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5826524 5822767 5808706 5767983 5718169 5701201 5665679

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