株式会社昭和真空
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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第3467位 5件
（
2011年：第4080位 4件）
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第2665位 7件
（
2011年：第1078位 24件）
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株式会社昭和真空の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5097959 | チャック機構、搬送装置及び周波数調整装置 | 2012年12月12日 | |
| 特許 5051531 | 周波数調整方法及び周波数調整装置 | 2012年10月17日 | |
| 特許 5028584 | 液晶配向膜用真空蒸着装置およびその成膜方法 | 2012年 9月19日 | |
| 特許 4992039 | 成膜装置及び成膜方法 | 2012年 8月 8日 | |
| 特許 4992038 | スパッタ装置及びスパッタ方法 | 2012年 8月 8日 | |
| 特許 4952908 | 真空蒸着装置及びその制御方法 | 2012年 6月13日 | |
| 特許 4936333 | 真空蒸着装置 | 2012年 5月23日 |
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5097959 5051531 5028584 4992039 4992038 4952908 4936333
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