株式会社昭和真空
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■ 2013年 出願公開件数ランキング 件
（
2012年： 件）
■ 2013年 特許取得件数ランキング 件
（2012年： 件）
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株式会社昭和真空の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5298421 | 荷電粒子照射装置及び荷電粒子制御方法 | 2013年 9月25日 | |
| 特許 5300066 | マグネトロンカソード | 2013年 9月25日 | |
| 特許 5292558 | イオンガン | 2013年 9月18日 | |
| 特許 5277390 | エッチング装置 | 2013年 8月28日 | |
| 特許 5261742 | 発光装置の製造方法及び発光装置の色度調整方法 | 2013年 8月14日 | |
| 特許 5261813 | 真空蒸着装置 | 2013年 8月14日 | |
| 特許 5194315 | スパッタリング装置 | 2013年 5月 8日 | |
| 特許 5181194 | ＲＦスパッタ装置 | 2013年 4月10日 | |
| 特許 5156897 | 成膜装置及び膜厚測定方法 | 2013年 3月 6日 | |
| 特許 5119500 | 蒸着材料の供給・回収手段及び真空装置 | 2013年 1月16日 |
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5298421 5300066 5292558 5277390 5261742 5261813 5194315 5181194 5156897 5119500
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