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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2022-552599 | プロセスチャンバー内のプラズマ逆流を遮断することにより吸気構造を保護する装置 | 2022年12月19日 | |
特表 2022-549401 | 回転可能なファラデー洗浄装置 | 2022年11月25日 | |
特表 2022-545224 | ファラデー洗浄装置を含むプラズマ処理システム | 2022年10月26日 | |
特表 2022-544421 | セラミック給気部に無線周波数を接続した洗浄装置 | 2022年10月18日 | |
特表 2022-542271 | 誘導結合プラズマ処理システム | 2022年 9月30日 | |
特表 2022-541052 | プラズマエッチングシステム | 2022年 9月21日 | |
特表 2022-541054 | ファラデーシールドデバイスを備えるプラズマ処理システムおよびプラズマ処理方法 | 2022年 9月21日 |
7 件中 1-7 件を表示
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2022-552599 2022-549401 2022-545224 2022-544421 2022-542271 2022-541052 2022-541054
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