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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7383317 | 回転可能なファラデー洗浄装置 | 2023年11月20日 | |
特許 7364288 | 誘導結合プラズマ処理システム | 2023年10月18日 | |
特許 7364292 | 開閉式ファラデーアセンブリを有するプラズマ処理システムおよび開閉式ファラデーアセンブリ | 2023年10月18日 | |
特許 7352316 | プロセスチャンバー内のプラズマ逆流を遮断することにより吸気構造を保護する装置 | 2023年 9月28日 | |
特許 7296677 | プラズマエッチングシステム | 2023年 6月23日 | |
特許 7296678 | セラミック給気部に無線周波数を接続した洗浄装置 | 2023年 6月23日 | |
特許 7278471 | ファラデーシールドデバイスを備えるプラズマ処理システムおよびプラズマ処理方法 | 2023年 5月19日 |
7 件中 1-7 件を表示
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7383317 7364288 7364292 7352316 7296677 7296678 7278471
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