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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第3076位 6件
(
2014年:第2496位 8件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第2434位 6件
(
2014年:第10386位 1件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5836973 | 改善された超音波洗浄方法、および装置 | 2015年12月24日 | |
| 特許 5797272 | ウエハ状物品を処理するための装置 | 2015年10月21日 | |
| 特許 5747031 | 半導体ウエハを乾燥させるための方法 | 2015年 7月 8日 | |
| 特許 5693719 | ウエハ状物品を保持するための装置 | 2015年 4月 1日 | |
| 特許 5693785 | 改良された超音波処理の方法及び装置 | 2015年 4月 1日 | |
| 特許 5683691 | ウエハ状物品を処理するための装置 | 2015年 3月11日 |
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5836973 5797272 5747031 5693719 5693785 5683691
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