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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第12401位 1件
(2017年:第3759位 5件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第2781位 5件
(2017年:第2791位 5件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6381913 | ウエハ形状物品を処理するための装置、その装置で用いる構造及びピンアセンブリ | 2018年 8月29日 | |
特許 6351948 | 円板状物品の液体処理装置およびかかる装置で用いる加熱システム | 2018年 7月 4日 | |
特許 6328686 | 円盤状の物品を処理するための装置 | 2018年 5月23日 | |
特許 6322450 | ウエハ状物品の表面を処理するための装置 | 2018年 5月 9日 | |
特許 6285125 | ウエハ状物品の液体処理のための方法及び装置 | 2018年 2月28日 |
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6381913 6351948 6328686 6322450 6285125
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