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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第4129位 4件
(2011年:第12004位 1件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第3844位 4件
(2011年:第24706位 0件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5074946 | 低誘電率膜およびその成膜方法並びにその膜を用いた電子装置 | 2012年11月14日 | 共同出願 |
特許 5057622 | 低ホウ素シリカ粒子の製造方法、この方法により得られる低ホウ素シリカ粒子及びこれを用いた低ホウ素石英ガラス粒子の製造方法 | 2012年10月24日 | 共同出願 |
特許 5016416 | 気化器及び気化方法 | 2012年 9月 5日 | 共同出願 |
特許 4986163 | MOCVD用気化器及び成膜装置 | 2012年 7月25日 | 共同出願 |
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5074946 5057622 5016416 4986163
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