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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第5242位 3件
(2015年:第7196位 2件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第2650位 6件
(2015年:第8612位 1件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6014829 | 気化器 | 2016年10月26日 | |
特許 6013917 | 気化器及び気化方法 | 2016年10月25日 | |
特許 5993363 | 気化器および気化方法 | 2016年 9月14日 | |
特許 5965316 | ウエハ分離装置、ウエハ分離搬送装置、ウエハ分離方法、ウエハ分離搬送方法及び太陽電池用ウエハ分離搬送方法 | 2016年 8月 3日 | |
特許 5933233 | 成膜装置および気化器の設置方法 | 2016年 6月 8日 | |
特許 5845325 | 気化装置、及び、気化装置を備えた成膜装置 | 2016年 1月20日 |
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6014829 6013917 5993363 5965316 5933233 5845325
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