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日本エー・エス・エム株式会社

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  2012年 特許取得件数ランキング    第2665位 7件 下降2011年:第2389位 8件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5057355 集積回路内での金属層の選択的形成 2012年10月24日
特許 5026317 液体フィルタを有する紫外線照射装置及び方法 2012年 9月12日
特許 5004326 均一な膜を形成するためのプラズマCVD装置及び方法 2012年 8月22日
特許 4970847 プラズマ処理の異常動作を検知するための方法 2012年 7月11日
特許 4971262 半導体基板をキュアリングするために紫外線照射を管理する方法 2012年 7月11日
特許 4936334 基板の貼り付き発生を検出する方法およびシステム 2012年 5月23日
特許 4912253 基板搬送装置、基板処理装置及び基板搬送方法 2012年 4月11日

7 件中 1-7 件を表示

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5057355 5026317 5004326 4970847 4971262 4936334 4912253

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