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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5057355 | 集積回路内での金属層の選択的形成 | 2012年10月24日 | |
特許 5026317 | 液体フィルタを有する紫外線照射装置及び方法 | 2012年 9月12日 | |
特許 5004326 | 均一な膜を形成するためのプラズマCVD装置及び方法 | 2012年 8月22日 | |
特許 4970847 | プラズマ処理の異常動作を検知するための方法 | 2012年 7月11日 | |
特許 4971262 | 半導体基板をキュアリングするために紫外線照射を管理する方法 | 2012年 7月11日 | |
特許 4936334 | 基板の貼り付き発生を検出する方法およびシステム | 2012年 5月23日 | |
特許 4912253 | 基板搬送装置、基板処理装置及び基板搬送方法 | 2012年 4月11日 |
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5057355 5026317 5004326 4970847 4971262 4936334 4912253
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1月15日(水) -
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1月22日(水) -
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