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日本エー・エス・エム株式会社

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  2013年 特許取得件数ランキング    第2688位 7件 下降2012年:第2665位 7件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5336806 基板搬送ロボット用の位置検出装置を備えた半導体処理装置及びその方法 2013年11月 6日
特許 5283394 クラスタ型半導体処理装置 2013年 9月 4日
特許 5274229 プラズマCVD装置及びその方法 2013年 8月28日
特許 5268130 酸素含有炭化ケイ素膜を形成するための方法 2013年 8月21日
特許 5258241 UV照射チャンバーをクリーニングする方法 2013年 8月 7日
特許 5258660 ウエハ位置合わせ装置を有する半導体処理装置及び方法 2013年 8月 7日
特許 5196915 金属配線構造用のルテニウム膜の形成方法 2013年 5月15日

7 件中 1-7 件を表示

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5336806 5283394 5274229 5268130 5258241 5258660 5196915

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