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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第7196位 2件
(2014年:第11848位 1件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第2775位 5件
(2014年:第3438位 5件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5754579 | イオン源 | 2015年 7月29日 | |
特許 5749769 | 高周波アンテナユニット及びプラズマ処理装置 | 2015年 7月15日 | |
特許 5747231 | プラズマ生成装置およびプラズマ処理装置 | 2015年 7月 8日 | |
特許 5735232 | プラズマ処理装置 | 2015年 6月17日 | |
特許 5702143 | スパッタリング薄膜形成装置 | 2015年 4月15日 | |
特許 5684483 | プラズマ処理装置用アンテナ及び該アンテナを用いたプラズマ処理装置 | 2015年 3月11日 |
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5754579 5749769 5747231 5735232 5702143 5684483
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