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ブルックス オートメーション ユーエス、エルエルシー

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  2023年 出願公開件数ランキング    第1220位 20件 上昇2022年:第14391位 1件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第1130位 19件 上昇2022年:第27906位 0件)

(ランキング更新日:2025年1月17日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2023-164962 基板搬送装置 2023年11月14日
特開 2023-159215 基板処理装置 2023年10月31日
特開 2023-153986 ロードポートモジュール 2023年10月18日
特開 2023-154038 独立型の付属フィードスルーを備えた基板搬送装置 2023年10月18日
特開 2023-120354 リニア軸受を備えた搬送装置およびそのための方法 2023年 8月29日
特開 2023-116629 自動ウェハセンタリング方法および装置 2023年 8月22日
特開 2023-113776 密閉環境のための位置フィードバック 2023年 8月16日
特開 2023-113831 基板処理装置 2023年 8月16日
特開 2023-113891 基板処理ツール 2023年 8月16日
特開 2023-110027 搬送装置およびアダプタペンダント 2023年 8月 8日
特表 2023-532334 基板マッピング装置およびそのための方法 2023年 7月27日
特表 2023-532340 ロボットシステム用自動教示装置およびそのための方法 2023年 7月27日
特開 2023-100955 搬送装置および処理装置 2023年 7月19日
特開 2023-88966 機械的スイッチ機構を利用する複数の可動アームを有する基板搬送装置 2023年 6月27日
特表 2023-522528 基板搬送装置 2023年 5月31日

20 件中 1-15 件を表示

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2023-164962 2023-159215 2023-153986 2023-154038 2023-120354 2023-116629 2023-113776 2023-113831 2023-113891 2023-110027 2023-532334 2023-532340 2023-100955 2023-88966 2023-522528

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