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ブルックスオートメーションユーエス、エルエルシー

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ブルックスオートメーションユーエス、エルエルシーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2023-164962	基板搬送装置	2023年11月14日
特開 2023-159215	基板処理装置	2023年10月31日
特開 2023-153986	ロードポートモジュール	2023年10月18日
特開 2023-154038	独立型の付属フィードスルーを備えた基板搬送装置	2023年10月18日
特開 2023-120354	リニア軸受を備えた搬送装置およびそのための方法	2023年 8月29日
特開 2023-116629	自動ウェハセンタリング方法および装置	2023年 8月22日
特開 2023-113776	密閉環境のための位置フィードバック	2023年 8月16日
特開 2023-113831	基板処理装置	2023年 8月16日
特開 2023-113891	基板処理ツール	2023年 8月16日
特開 2023-110027	搬送装置およびアダプタペンダント	2023年 8月 8日
特表 2023-532334	基板マッピング装置およびそのための方法	2023年 7月27日
特表 2023-532340	ロボットシステム用自動教示装置およびそのための方法	2023年 7月27日
特開 2023-100955	搬送装置および処理装置	2023年 7月19日
特開 2023-88966	機械的スイッチ機構を利用する複数の可動アームを有する基板搬送装置	2023年 6月27日
特表 2023-522528	基板搬送装置	2023年 5月31日

20 件中 1-15 件を表示

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2023-164962 2023-159215 2023-153986 2023-154038 2023-120354 2023-116629 2023-113776 2023-113831 2023-113891 2023-110027 2023-532334 2023-532340 2023-100955 2023-88966 2023-522528

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