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出願人名に「エスケー インコーポレイテッド」を含むもの
| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特開 2014-216644 | 排気リングアセンブリー及びこれを含む基板処理装置 | ピーエスケー インコーポレイテッド | 2014年11月17日 |
| 特開 2014-216318 | プラズマ発生装置及びその制御方法、及びプラズマ発生装置を含む基板処理装置 | ピーエスケー インコーポレイテッド | 2014年11月17日 |
| 特開 2014-204121 | 基板処理設備及び方法 | ピーエスケー インコーポレイテッド | 2014年10月27日 |
| 特開 2014-132656 | 基板処理装置及び方法 | ピーエスケー インコーポレイテッド | 2014年 7月17日 |
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2014-216644 2014-216318 2014-204121 2014-132656
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