| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特開 2014-200868 | 研磨装置 | 株式会社ナノテム | 2014年10月27日 |
| 特開 2014-203904 | 真空吸着装置及び吸着プレート | 株式会社ナノテム | 2014年10月27日 |
| 特開 2014-83611 | 砥石およびそれを用いた研削・研磨装置 | 株式会社ナノテム | 2014年 5月12日 |
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2014-200868 2014-203904 2014-83611
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