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| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特許 5100371 | ウェハ周縁端の異物検査方法、及び異物検査装置 | 株式会社山梨技術工房 | 2012年12月19日 |
| 特許 4954633 | 高電圧発生回路およびイオナイザー | 株式会社山梨技術工房 | 2012年 6月20日 |
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5100371 4954633
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