公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
---|---|---|---|
特許 5502296 | サスペンドメタルマスクの製造方法及びサスペンドメタルマスク | 株式会社ソノコム | 2014年 5月28日 |
特許 5441663 | 多層構造メタルマスク | 株式会社ソノコム | 2014年 3月12日 |
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5502296 5441663
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