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出願人名に「株式会社トリケミカル研究所」を含むもの
| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特許 5088773 | 膜形成方法および膜形成材料 | 株式会社トリケミカル研究所 | 2012年12月 5日 |
| 特許 5067772 | ハフニウム化合物の精製方法、ハフニウム化合物の製造方法、ハフニウム系物の形成方法、及びハフニウム系膜の成膜方法 | 株式会社トリケミカル研究所 | 2012年11月 7日 |
| 特許 5004161 | 膜形成材料および膜形成方法 | 株式会社トリケミカル研究所 | 2012年 8月22日 |
| 特許 4915771 | 配管装置、及び流体供給装置 | 株式会社トリケミカル研究所 | 2012年 4月11日 |
| 特許 4860176 | Ｎｉ（ＰＦ３）４の製造方法 | 株式会社トリケミカル研究所 | 2012年 1月25日 |
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5088773 5067772 5004161 4915771 4860176
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