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ノベラス・システムズ・インコーポレーテッド

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  2015年 出願公開件数ランキング    第3076位 6件 下降2014年:第2742位 7件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第2016位 8件 上昇2014年:第4015位 4件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5791167 サブストレイトの上に堆積する方法、サブストレイトの製造方法及び器具 2015年10月 7日
特許 5773306 半導体素子構造を形成する方法および装置 2015年 9月 2日
特許 5770740 高ドーズインプラントストリップの前に行われる、シリコンを保護するためのパッシベーションプロセスの改善方法およびそのための装置 2015年 8月26日
特許 5729911 タングステン膜の製造方法およびタングステン膜を堆積させる装置 2015年 6月 3日
特許 5700327 小臨界次元のタングステン接点装置及び相互接続子の製法 2015年 4月15日
特許 5683022 タングステンの粗度減少及び反射率改善の方法、集積回路の製造方法、並びにタングステンフィルムを半導体基板上に堆積する装置 2015年 3月11日
特許 5656010 ハードマスク膜を形成する方法およびハードマスク膜を成膜する装置 2015年 1月21日
特許 5656140 純タングステンコンタクトおよびラインを形成する方法及び半導体基板の製造方法 2015年 1月21日

8 件中 1-8 件を表示

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5791167 5773306 5770740 5729911 5700327 5683022 5656010 5656140

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