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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第3076位 6件
(2014年:第2742位 7件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第2016位 8件
(2014年:第4015位 4件)
(ランキング更新日:2025年3月24日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5791167 | サブストレイトの上に堆積する方法、サブストレイトの製造方法及び器具 | 2015年10月 7日 | |
特許 5773306 | 半導体素子構造を形成する方法および装置 | 2015年 9月 2日 | |
特許 5770740 | 高ドーズインプラントストリップの前に行われる、シリコンを保護するためのパッシベーションプロセスの改善方法およびそのための装置 | 2015年 8月26日 | |
特許 5729911 | タングステン膜の製造方法およびタングステン膜を堆積させる装置 | 2015年 6月 3日 | |
特許 5700327 | 小臨界次元のタングステン接点装置及び相互接続子の製法 | 2015年 4月15日 | |
特許 5683022 | タングステンの粗度減少及び反射率改善の方法、集積回路の製造方法、並びにタングステンフィルムを半導体基板上に堆積する装置 | 2015年 3月11日 | |
特許 5656010 | ハードマスク膜を形成する方法およびハードマスク膜を成膜する装置 | 2015年 1月21日 | |
特許 5656140 | 純タングステンコンタクトおよびラインを形成する方法及び半導体基板の製造方法 | 2015年 1月21日 |
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5791167 5773306 5770740 5729911 5700327 5683022 5656010 5656140
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3月24日(月) -
3月25日(火) - 東京 品川区
3月25日(火) -
3月26日(水) - 東京 港区
3月26日(水) -
3月26日(水) -
3月26日(水) -
3月26日(水) -
3月24日(月) -
4月1日(火) - 山口 山口市
4月1日(火) -
4月4日(金) -
4月1日(火) - 山口 山口市
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