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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第3520位 5件
(2017年:第34787位 0件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第2454位 6件
(2017年:第2791位 5件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6415035 | ギャップフィルのための共形膜蒸着 | 2018年10月31日 | |
特許 6397620 | 電気メッキの方法及び装置 | 2018年 9月26日 | |
特許 6370046 | 有機金属共反応物を用いた交差メタセシス反応によりSiCおよびSiCN膜を成膜するための装置及び方法 | 2018年 8月 8日 | |
特許 6355450 | 複数プレナム/2温度シャワーヘッド | 2018年 7月11日 | |
特許 6271436 | 基板処理チャンバ内の寄生プラズマの機械的抑制 | 2018年 1月31日 | |
特許 6273257 | タングステンによるフィーチャ充填 | 2018年 1月31日 |
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6415035 6397620 6370046 6355450 6271436 6273257
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