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ノベラス・システムズ・インコーポレーテッド

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  2018年 出願公開件数ランキング    第3520位 5件 上昇2017年:第34787位 0件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第2454位 6件 上昇2017年:第2791位 5件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6415035 ギャップフィルのための共形膜蒸着 2018年10月31日
特許 6397620 電気メッキの方法及び装置 2018年 9月26日
特許 6370046 有機金属共反応物を用いた交差メタセシス反応によりSiCおよびSiCN膜を成膜するための装置及び方法 2018年 8月 8日
特許 6355450 複数プレナム/2温度シャワーヘッド 2018年 7月11日
特許 6271436 基板処理チャンバ内の寄生プラズマの機械的抑制 2018年 1月31日
特許 6273257 タングステンによるフィーチャ充填 2018年 1月31日

6 件中 1-6 件を表示

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6415035 6397620 6370046 6355450 6271436 6273257

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