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エムケーエス インストゥルメンツ，インコーポレイテッド
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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第4586位 4件
（
2022年：第2992位 7件）
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第2423位 7件
（
2022年：第2447位 7件）
（ランキング更新日：2025年3月25日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
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エムケーエス インストゥルメンツ，インコーポレイテッドの商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
特許 7393523
|
ＲＦ給電プラズマ用途におけるシース形成、進化、およびパルスからパルスへの安定性を強化するための方法および装置 | 2023年12月 6日 | |
| 特許 7376699
|
電子可変キャパシタを使用する相互変調ひずみの軽減 | 2023年11月 8日 | |
| 特許 7376702
|
ＲＦインピーダンス整合のための自動周波数チューニングのための極値探索制御装置および方法 | 2023年11月 8日 | |
| 特許 7374223
|
プラズマソース／バイアス電力伝送の高速同期 | 2023年11月 6日 | |
| 特許 7301075
|
リモートプラズマ源用のラジカル出力モニタ及びその使用方法 | 2023年 6月30日 | |
| 特許 7263676
|
プロセスプラズマにおけるイオンエネルギー分布を制御するための方法 | 2023年 4月25日 | |
| 特許 7241730
|
スイッチング可能な粗同調回路網およびバラクタ微同調回路網を含むハイブリッド同調回路網を備えたソリッドステートインピーダンス整合システム | 2023年 3月17日 | |
| 特許 7216798
|
加工チャンバの電極に予め歪ませたＲＦバイアス電圧信号を供給するための区分的ＲＦ電力システムおよび方法 | 2023年 2月 1日 |
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7393523 7376699 7376702 7374223 7301075 7263676 7241730 7216798
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