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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第2992位 7件
(
2021年:第3208位 6件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第2447位 7件
(
2021年:第2482位 6件)
(ランキング更新日:2025年12月26日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7171838 | パルス化された双方向無線周波数ソース/負荷 | 2022年11月15日 | |
| 特許 7152537 | 連続的およびパルスモード動作のための一体化されたRF電力供給単一入力複数出力制御 | 2022年10月12日 | |
| 特許 7092824 | イオンエネルギー分布のためのRF波形適合によるフィードバック制御 | 2022年 6月28日 | |
| 特許 7078761 | インピーダンスマッチングネットワークモデルベース補正方式および性能反復性 | 2022年 5月31日 | |
| 特許 7074876 | 電力発生器のための適応制御 | 2022年 5月24日 | |
| 特許 6999703 | 加工チャンバの電極に予め歪ませたRFバイアス電圧信号を供給するための区分的RF電力システムおよび方法 | 2022年 2月 4日 | |
| 特許 7013567 | 電気的スプリッタ、電気的スプリッタを備えたRFシステム、および電気的スプリッタのバランス回路 | 2022年 1月31日 |
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7171838 7152537 7092824 7078761 7074876 6999703 7013567
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