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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第3023位 6件
(
2020年:第2630位 7件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第2480位 6件
(
2020年:第4018位 3件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2021-182548 | パルス化された双方向無線周波数ソース/負荷 | 2021年11月25日 | |
| 特表 2021-530833 | インピーダンスマッチングネットワークモデルベース補正方式および性能反復性 | 2021年11月11日 | |
| 特表 2021-530076 | リモートプラズマ源用のラジカル出力モニタ及びその使用方法 | 2021年11月 4日 | |
| 特表 2021-521590 | プロセスプラズマにおけるイオンエネルギー分布を制御するための装置及び方法 | 2021年 8月26日 | |
| 特表 2021-520067 | 電力発生器のための適応制御 | 2021年 8月12日 | |
| 特開 2021-73663 | 連続的およびパルスモード動作のための一体化されたRF電力供給単一入力複数出力制御 | 2021年 5月13日 | |
| 特開 2021-52017 | スイッチング可能な粗同調回路網およびバラクタ微同調回路網を含むハイブリッド同調回路網を備えたソリッドステートインピーダンス整合システム | 2021年 4月 1日 |
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2021-182548 2021-530833 2021-530076 2021-521590 2021-520067 2021-73663 2021-52017
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