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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第2992位 7件
(2021年:第3208位 6件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第2447位 7件
(2021年:第2482位 6件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2022-553507 | RFインピーダンス整合のための自動周波数チューニングのための極値探索制御装置および方法 | 2022年12月23日 | |
特表 2022-552589 | RF給電プラズマ用途におけるシース形成、進化、およびパルスからパルスへの安定性を強化するための方法および装置 | 2022年12月19日 | |
特表 2022-538723 | プラズマソース/バイアス電力伝送の高速同期 | 2022年 9月 6日 | |
特表 2022-532988 | 加熱される絞り弁装置並びにその使用及び製造方法 | 2022年 7月21日 | |
特表 2022-527464 | 薄型ヒータ装置及び製造方法 | 2022年 6月 2日 | |
特開 2022-58382 | 加工チャンバの電極に予め歪ませたRFバイアス電圧信号を供給するための区分的RF電力システムおよび方法 | 2022年 4月12日 | |
特表 2022-502235 | オゾン水デリバリシステム及び使用方法 | 2022年 1月11日 |
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2022-553507 2022-552589 2022-538723 2022-532988 2022-527464 2022-58382 2022-502235
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