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出願人名に「株式会社SEN」を含むもの

公報番号発明の名称出願人公報発行日
特開 2013-206833 イオン注入装置及びその制御方法 株式会社SEN 2013年10月 7日
特開 2013-196985 イオン源装置及びイオンビーム生成方法 株式会社SEN 2013年 9月30日
特開 2013-157373 イオン注入方法及びイオン注入装置 株式会社SEN 2013年 8月15日
特開 2013-127940 イオン注入方法及びイオン注入装置 株式会社SEN 2013年 6月27日
特開 2013-89409 イオン注入装置及びイオン注入方法 株式会社SEN 2013年 5月13日
特開 2013-4610 イオン注入装置及びイオン注入方法 株式会社SEN 2013年 1月 7日

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2013-206833 2013-196985 2013-157373 2013-127940 2013-89409 2013-4610

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