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出願人名に「ノベルス・システムズ・インコーポレーテッド」を含むもの
| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特開 2011-192680 | 低抵抗率およびロバストな微接着特性を有するタングステン薄膜の成膜方法 | ノベルス・システムズ・インコーポレーテッド | 2011年 9月29日 |
| 特開 2011-146711 | ダマシンインターコネクトのエレクトロマイグレーション抵抗を向上させる界面層 | ノベルス・システムズ・インコーポレーテッド | 2011年 7月28日 |
| 特開 2011-139033 | ハードマスク材料 | ノベルス・システムズ・インコーポレーテッド | 2011年 7月14日 |
| 特開 2011-109086 | 膜の少なくとも一部を酸化シリコンに変換し、および／または、蒸気内紫外線硬化を利用して膜の品質を改善し、および、アンモニア内紫外線硬化を利用して膜を高密度化するシステムおよび方法 | ノベルス・システムズ・インコーポレーテッド | 2011年 6月 2日 |
| 特開 2011-49508 | 等方性銅エッチングのためのエッチング調合物 | ノベルス・システムズ・インコーポレーテッド | 2011年 3月10日 |
| 特開 2011-35366 | 高アスペクト比のフィーチャーへのタングステン堆積方法 | ノベルス・システムズ・インコーポレーテッド | 2011年 2月17日 |
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2011-192680 2011-146711 2011-139033 2011-109086 2011-49508 2011-35366
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