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公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
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特開 2013-167022 | コンタクトリング、端縁シールおよびコンタクトリングのアセンブリ | ノベルス・システムズ・インコーポレーテッド | 2013年 8月29日 |
特表 2013-528943 | ペデスタルカバー | ノベルス・システムズ・インコーポレーテッド | 2013年 7月11日 |
特表 2013-516084 | 静電チャックおよびその修理方法 | ノベルス・システムズ・インコーポレーテッド | 2013年 5月 9日 |
特表 2013-513946 | シリコン損失を非常に低く抑えた高ドーズインプラントストリップ | ノベルス・システムズ・インコーポレーテッド | 2013年 4月22日 |
特表 2013-513949 | 高ドーズインプラントストリップの前に行われる、シリコンを保護するためのパッシベーションプロセスの改善方法 | ノベルス・システムズ・インコーポレーテッド | 2013年 4月22日 |
特表 2013-513948 | low−k誘電体について損傷を低く抑えつつフォトレジストをストリッピングする方法 | ノベルス・システムズ・インコーポレーテッド | 2013年 4月22日 |
特開 2013-40404 | 半導体電気メッキ装置用のリップシールおよびコンタクト部 | ノベルス・システムズ・インコーポレーテッド | 2013年 2月28日 |
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2013-167022 2013-528943 2013-516084 2013-513946 2013-513949 2013-513948 2013-40404
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