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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第3677位 5件
(2020年:第4292位 4件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第9350位 1件
(2020年:第8780位 1件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特表 2021-534328 | 薄膜形成装置およびこれを用いた薄膜形成方法 | 2021年12月 9日 | |
特開 2021-176994 | 排ガス分解装置を有する基板処理装置及び該装置用排ガス処理方法 | 2021年11月11日 | |
特表 2021-519864 | 基板処理装置 | 2021年 8月12日 | |
特表 2021-518973 | 基板処理装置 | 2021年 8月 5日 | |
特表 2021-512477 | 基板処理装置 | 2021年 5月13日 |
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2021-534328 2021-176994 2021-519864 2021-518973 2021-512477
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