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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第12189位 1件
(2015年:第7196位 2件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第5777位 2件
(2015年:第23268位 0件)
(ランキング更新日:2025年3月24日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6042550 | EUV放射線発生装置および該EUV放射線発生装置のための運転法 | 2016年12月14日 | |
特許 6038301 | レーザービーム光源とレーザービームを操作するためのビーム案内装置とを備えたEUV励起光源 | 2016年12月 7日 |
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6042550 6038301
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