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ビーコ・インストゥルメンツ・インコーポレイテッド

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-248876 バッチ式で非接触な材料特性評価のための装置および方法 2012年12月13日
特表 2012-511259 化学気相成長用の流入口要素及び化学気相成長方法 2012年 5月17日
特表 2012-508469 高温ガス注入を伴う化学気相成長方法及び反応器 2012年 4月 5日
特表 2012-504866 化学蒸着堆積のための方法および装置 2012年 2月23日
特表 2012-501541 一様でない熱抵抗を有するウエハキャリア 2012年 1月19日

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2012-248876 2012-511259 2012-508469 2012-504866 2012-501541

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