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公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
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特許 5539466 | ラッチ構造を具えた前面開放式ウエハーキャリア | 家登精密工業股▲ふん▼有限公司 | 2014年 7月 2日 |
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