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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第1629位 14件
(
2021年:第1863位 12件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第2222位 8件
(
2021年:第3400位 4件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2022-140412 | レチクル保管ポッド及びレチクル保持方法 | 2022年 9月26日 | |
| 特開 2022-115767 | 迅速解除機構体付きレチクルポッド | 2022年 8月 9日 | |
| 特開 2022-58166 | 衝突防止距離構造を備えたレチクルポッド | 2022年 4月11日 | |
| 特開 2022-58167 | 帯電防止性能を備えたレチクルポッド | 2022年 4月11日 | |
| 特開 2022-58271 | 貯蔵環境検出手段を備えた基板貯蔵装置 | 2022年 4月11日 | |
| 特開 2022-51662 | シートを支持するための中央支持装置及びシートを収納するための保管装置 | 2022年 4月 1日 | |
| 特開 2022-51663 | 内部流れ場を増加する基板収納容器 | 2022年 4月 1日 | |
| 特開 2022-51673 | モジュール化した大型キャリア | 2022年 4月 1日 | |
| 特開 2022-51676 | 支持具モジュール及びウェハーカセット | 2022年 4月 1日 | |
| 特開 2022-51846 | レチクル保持システム | 2022年 4月 1日 | |
| 特開 2022-41795 | マスクケース洗浄装置 | 2022年 3月11日 | |
| 特開 2022-22047 | ガイド部材を有するマスクケース | 2022年 2月 3日 | |
| 特開 2022-14850 | 基板搬送キャリア用ロック機構 | 2022年 1月20日 | |
| 特開 2022-8692 | 制限構造を備えた基板収納容器 | 2022年 1月14日 |
14 件中 1-14 件を表示
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2022-140412 2022-115767 2022-58166 2022-58167 2022-58271 2022-51662 2022-51663 2022-51673 2022-51676 2022-51846 2022-41795 2022-22047 2022-14850 2022-8692
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