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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第3042位 6件
(2013年:第3287位 6件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第6584位 2件
(2013年:第9789位 1件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2014-207221 | 電力供給装置、電力供給方法、及びそれを利用する基板処理装置 | 2014年10月30日 | |
特開 2014-132570 | プラズマチャンバー及び基板処理装置 | 2014年 7月17日 | 共同出願 |
特開 2014-132634 | プラズマ発生装置、プラズマ発生装置を制御する方法、及びプラズマ発生装置を使用する基板処理装置 | 2014年 7月17日 | 共同出願 |
特開 2014-82494 | 基板処理方法 | 2014年 5月 8日 | |
特開 2014-60396 | 基板処理装置及び方法 | 2014年 4月 3日 | |
特開 2014-60401 | 連続線形熱処理装置の配列 | 2014年 4月 3日 | 共同出願 |
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2014-207221 2014-132570 2014-132634 2014-82494 2014-60396 2014-60401
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