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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第2742位 7件
(2014年:第3042位 6件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第2775位 5件
(2014年:第6584位 2件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2015-119177 | バッフルアセンブリー及びこれを有する基板処理装置 | 2015年 6月25日 | |
特開 2015-115604 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2015年 6月22日 | |
特開 2015-103524 | 相互誘導結合を利用するプラズマ生成装置及びそれを含む基板処理装置 | 2015年 6月 4日 | |
特開 2015-32827 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2015年 2月16日 | |
特開 2015-32828 | リフロ処理ユニット及び基板処理装置 | 2015年 2月16日 | |
特開 2015-32829 | リフロ処理ユニット及び基板処理装置 | 2015年 2月16日 | |
特開 2015-19062 | 基板処理装置、半導体設備、半導体設備の自己診断装置、及び半導体設備の自己診断方法 | 2015年 1月29日 |
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2015-119177 2015-115604 2015-103524 2015-32827 2015-32828 2015-32829 2015-19062
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