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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第3042位 6件
(
2013年:第3287位 6件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第6584位 2件
(
2013年:第9789位 1件)
(ランキング更新日:2025年12月19日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5603962 | 工程処理部及び基板処理装置、及びこれを利用する基板処理方法 | 2014年10月 8日 | |
| 特許 5395225 | バッフル及びこれを含む基板処理装置 | 2014年 1月22日 |
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5603962 5395225
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