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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第2742位 7件
(2014年:第3042位 6件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第2775位 5件
(2014年:第6584位 2件)
(ランキング更新日:2025年6月23日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5778731 | 連続線形熱処理装置の配列 | 2015年 9月16日 | |
特許 5767199 | 半導体製造装置及び半導体製造方法 | 2015年 8月19日 | |
特許 5767295 | 基板処理方法 | 2015年 8月19日 | |
特許 5715210 | 基板処理方法 | 2015年 5月 7日 | |
特許 5684872 | プラズマ発生装置、プラズマ発生装置を制御する方法、及びプラズマ発生装置を使用する基板処理装置 | 2015年 3月18日 |
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5778731 5767199 5767295 5715210 5684872
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