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出願人名に「株式会社アルバ」を含むもの

公報番号発明の名称出願人公報発行日
特許 5377489 Cu配線膜の形成方法 株式会社アルバック 2013年12月25日
特許 5378902 プラズマ処理装置のプラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 株式会社アルバック 2013年12月25日
特許 5379909 粘弾性の測定方法及び粘弾性の測定装置 株式会社アルバック 2013年12月25日
特許 5374521 温度検出装置、加熱装置、基板加熱方法 株式会社アルバック 2013年12月25日
特許 5378526 仕切弁 株式会社アルバック 2013年12月25日
特許 5377666 真空排気装置及び真空排気方法及び基板処理装置 株式会社アルバック 2013年12月25日
特許 5374109 加熱真空処理方法 株式会社アルバック 2013年12月25日
特許 5374373 有機材料蒸気発生装置、成膜源、有機EL成膜装置 株式会社アルバック 2013年12月25日
特許 5374374 有機薄膜製造方法 株式会社アルバック 2013年12月25日
特許 5378192 成膜装置 株式会社アルバック 2013年12月25日
特許 5378193 プラズマ成膜装置及び成膜方法 株式会社アルバック 2013年12月25日
特許 5378416 プラズマ処理装置 株式会社アルバック 2013年12月25日
特許 5378517 真空成膜装置、および真空成膜装置のシャッタ板位置検出方法 株式会社アルバック 2013年12月25日
特許 5379246 半導体装置の製造方法、及び成膜装置 株式会社アルバック 2013年12月25日
特許 5379717 蒸着用マスク 株式会社アルバック 2013年12月25日

384 件中 1-15 件を表示

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5377489 5378902 5379909 5374521 5378526 5377666 5374109 5374373 5374374 5378192 5378193 5378416 5378517 5379246 5379717

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