出願人名に「株式会社アルバ」を含むもの
| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特許 5377489 | Ｃｕ配線膜の形成方法 | 株式会社アルバック | 2013年12月25日 |
| 特許 5378902 | プラズマ処理装置のプラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 | 株式会社アルバック | 2013年12月25日 |
| 特許 5379909 | 粘弾性の測定方法及び粘弾性の測定装置 | 株式会社アルバック | 2013年12月25日 |
| 特許 5374521 | 温度検出装置、加熱装置、基板加熱方法 | 株式会社アルバック | 2013年12月25日 |
| 特許 5378526 | 仕切弁 | 株式会社アルバック | 2013年12月25日 |
| 特許 5377666 | 真空排気装置及び真空排気方法及び基板処理装置 | 株式会社アルバック | 2013年12月25日 |
| 特許 5374109 | 加熱真空処理方法 | 株式会社アルバック | 2013年12月25日 |
| 特許 5374373 | 有機材料蒸気発生装置、成膜源、有機ＥＬ成膜装置 | 株式会社アルバック | 2013年12月25日 |
| 特許 5374374 | 有機薄膜製造方法 | 株式会社アルバック | 2013年12月25日 |
| 特許 5378192 | 成膜装置 | 株式会社アルバック | 2013年12月25日 |
| 特許 5378193 | プラズマ成膜装置及び成膜方法 | 株式会社アルバック | 2013年12月25日 |
| 特許 5378416 | プラズマ処理装置 | 株式会社アルバック | 2013年12月25日 |
| 特許 5378517 | 真空成膜装置、および真空成膜装置のシャッタ板位置検出方法 | 株式会社アルバック | 2013年12月25日 |
| 特許 5379246 | 半導体装置の製造方法、及び成膜装置 | 株式会社アルバック | 2013年12月25日 |
| 特許 5379717 | 蒸着用マスク | 株式会社アルバック | 2013年12月25日 |
384 件中 1-15 件を表示
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