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アイエムエス ナノファブリケーション アーゲー
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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第3076位 6件
（
2014年： 0件）
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第5375位 2件
（2014年： 0件）
（ランキング更新日：2024年11月22日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
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アイエムエス ナノファブリケーション アーゲーの商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2015-211040 | パターン切削用マルチビーム・ツール | 2015年11月24日 | |
| 特開 2015-211041 | パターン切削用マルチビーム・ツール | 2015年11月24日 | |
| 特開 2015-165565 | 帯電粒子マルチビーム露光ツールにおける欠陥ビームレットの補償 | 2015年 9月17日 | |
| 特開 2015-56668 | 補正プレートを有する荷電粒子多重ビーム装置 | 2015年 3月23日 | |
| 特開 2015-29096 | 荷電粒子マルチビーム露光のための方法 | 2015年 2月12日 | |
| 特開 2015-23286 | 複数のブランキングアレイを有するパターン画定装置 | 2015年 2月 2日 |
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2015-211040 2015-211041 2015-165565 2015-56668 2015-29096 2015-23286
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